6英寸車規(guī)級碳化硅晶圓制造無塵車間內，設備上綠色、黃色燈光閃爍，工作人員看一眼就知道設備處于生產還是閑置狀態(tài);幾名設備工程師正在調試新裝設備，沖刺擴產;“天車”沿著無塵車間屋頂的軌道懸垂于空中往返穿梭，調試與機器人“搭檔”搬運芯片，將實現機臺到機臺的全自動無人化搬運;無塵車間外的辦公室內，工程師坐在電腦前通過設備共享屏幕遠程監(jiān)控設備狀況，“千里眼”明察秋毫，指尖輕點鍵盤即可隨時遠程處理各種狀況……新年伊始，位于廣州南沙的國內最大專注于車規(guī)級碳化硅芯片制造企業(yè)芯粵能廠內一派熱火朝天的生產景象。

　　作為廣東“強芯工程”重大項目，芯粵能今年正加速一期產能爬坡，年底實現年產24萬片6英寸車規(guī)級碳化硅芯片的規(guī)劃產能。芯粵能項目達產后將極大緩解當前國產車規(guī)級碳化硅芯片緊缺的現狀，成為全球領先的車規(guī)級碳化硅功率半導體制造企業(yè)之一，解決碳化硅芯片“卡脖子”問題，奠定中國碳化硅功率器件領域的領先地位。

　　來源：廣州日報 耿旭靜、董業(yè)衡